[发明专利]带有径向张紧的金属隔膜的压力传感器无效

专利信息
申请号: 02158801.5 申请日: 2002-12-24
公开(公告)号: CN1437008A 公开(公告)日: 2003-08-20
发明(设计)人: 特雷斯·J·特罗耶 申请(专利权)人: 德怀尔仪器公司
主分类号: G01L9/00 分类号: G01L9/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王永建
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种具有径向张紧的隔膜以用于测量流体压力的压力传感器。该压力传感器包括通常呈凹入状的第一金属主体部件、通常呈凹入状的第二金属主体部件以及径向张紧的柔性金属隔膜,该隔膜设置在主体部件之间,通过加热传感器而被张紧。第一和第二主体部件由热膨胀系数大约为0.0000056-0.0000064英寸/英寸/℉的材料制成的。隔膜由热膨胀系数大约为0.0000060英寸/英寸/℉的沉淀硬化金属材料制成。第一主体部件和第二主体部件由铁磁性材料形成,从而第一和第二主体部件将隔膜与可能导致隔膜移动的磁场屏蔽开。
搜索关键词: 带有 径向 金属 隔膜 压力传感器
【主权项】:
1.一种测量流体压力的压力传感器,该压力传感器包括:第一主体部件;第二主体部件;以及径向张紧的柔性隔膜,该隔膜设置在所述第一主体部件和所述第二主体部件之间,所述第一主体部件和所述隔膜形成第一流体腔室,所述第二主体部件和所述隔膜形成第二流体腔室;所述第一主体部件由具有第一热膨胀系数的第一材料形成,所述隔膜由具有第二热膨胀系数的第二材料形成,所述第一热膨胀系数与所述第二热膨胀系数的差不超过大约0.0000015英寸/英寸/°F。
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