[发明专利]基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器及其制备方法无效
| 申请号： | 02157778.1 | 申请日： | 2002-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1424245A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 丁桂甫;姚锦元;赵小林 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器及其制备方法，由贮氢合金薄膜与性质稳定的衬底薄膜构成双金属膜叠层结构，双金属膜结构电极的一部分固定附着在基座上，其余悬空，构成能够随着电极反应进程产生形态变化的复合驱动电极，驱动电极与辅助电极构成电极对，浸入电解液中，通过施加直流电压(流)而操控双金属膜电极实现微驱动。贮氢合金薄膜采用溅射或者电镀方法沉积在衬底薄膜表面，衬底薄膜采用溅射、电镀方法沉积，将两种薄膜按一定顺序沉积在特定基体上，然后采用牺牲层技术使局部微结构释放，形成复合微驱动电极。本发明驱动器驱动电压低，行程长，驱动力比较大，安静而且控制方便，还具有姿态保持能力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 合金 薄膜 电化学 驱动器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器，其特征在于由贮氢合金薄膜(4)与性质稳定的衬底薄膜(3)构成双金属膜叠层结构，基座(2)牢固附着在基体(1)表面，双金属膜结构电极的一部分固定附着在基座(2)上，其余部分释放悬空，形成微悬臂梁、悬桥或空腔结构形式，构成能够随着电极反应进程产生形态变化的复合驱动电极，驱动电极与辅助电极(5)构成电极对，浸入电解液(6)中，通过施加直流电压(流)而操控双金属膜电极实现微驱动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02157778.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
