[发明专利]一种表面处理源无效
| 申请号： | 02157368.9 | 申请日： | 2002-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1438357A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 马翌军 | 申请（专利权）人： | 马翌军 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C16/503 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100028 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种表面处理源，应用于物体表面镀膜时的一种辅助机构。可以增加形成膜层时的能量，增大膜层的结合力，方法是独立设置一个阳极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 处理 | ||
【主权项】：
1一种表面处理源，含有阴极阳极，其特征在于独立设置一个阳极。
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