[发明专利]并行像散三维光聚焦探测方法及装置无效
| 申请号： | 02157283.6 | 申请日： | 2002-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1510392A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王永红;余晓芬;俞建卫;黄其圣 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06T1/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 并行像散三维光聚焦探测方法及装置，其特征是在并行全场检测中使用像散法，并采用同光斑光强差动算法。光学探头以中心点同处在光轴线a上、自一侧至另一侧依次设置为点光源、准直透镜、微透镜阵列、针孔阵列、分束镜、物镜和可轴向移动的被测物件，其特征是在垂直于光轴线a的方向上、位于探测面前方，设置像散透镜，像散透镜及探测面的中心点在光轴线b上，中心点连线垂直并相交于光轴线a、交点在分束镜中心，像散透镜、探测面所在平面均垂直于光轴线b、与分束镜的反射面相对。本发明能有效抑制光源噪声和漂移产生的影响，提高测量精度；可在较大采样间距下获得高的轴向分辨率，有效解决测量分辨率和测量速度之间的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | 并行 三维 聚焦 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、并行像散三维光聚焦探测方法，其特征是在并行全场检测中使用像散法，并采用同光斑光强差动算法。
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