[发明专利]物体表面三维形貌量测方法和系统

摘要

一种物体表面三维形貌的量测方法和系统，其包括：能投射出条纹图案的投射装置，并把此图案投射至待测物体上；利用多线结构的光电感测元件成像系统、条纹图案的投射装置和待测物的相对位置移动，藉以达成取像以及条纹图案相位移动的双重目的，必要时再加上适当的斜角及感测元件的光度校正，可进一步提高精确度；经由多线结构的光电感测元件成像系统，取得因物体表面高低起伏所造成的光强度调变影像；最后通过相移干涉分析方法及投射光源的几何关系，来得出相对于某一参考平面，物体表面轮廓的高低起伏；本发明除了解析度可达与利用传统相移式相同的精度等级外，更有其速度快的优点，并可大量的利用在工业界的线上检测。

主权项

1.一种物体表面三维形貌量测方法，用于量测一物体表面的三维形貌，该物体表面具有复数物点，其特征是：该方法包括下列步骤：(a).经由一图案投射装置，投射一图案于该待测物体表面上；(b).利用一多线结构的光电感测元件取像系统，接收和储存一多线影像；(c).该物体相对于一相移装置系统做移动，该相移装置系统包括该条纹投射装置与该多线结构的光电感测元件取像系统；(d).重复步骤a至c，直到该物体表面的所有物点都被该多线阵列光电取像系统取过像为止；以及(e).对该物体表面的所有物点的取像分别做一运算以决定每一物点的一相位值大小，并经由适当的一三角几何关系及校正，把该相位值转换成一高度以显示在一显示器上。