[发明专利]基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统有效
| 申请号： | 02155880.9 | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1508510A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 台宪青;胡旭晓;杨克己 | 申请（专利权）人： | 中国科学院自动化研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01R1/067 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 高精度 电感 逐级 递推式 纳米 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，其特征在于还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。
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