[发明专利]感应耦合等离子蚀刻机台及其电极结构

摘要

一种感应耦合等离子蚀刻机台及其电极结构，此机台主要是由一反应室、一上电极以及一下电极所构成。其中，上电极配置于反应室中，此上电极由一线圈、一第一介电层、一第二介电层以及一加热器所构成，第一介电层配置于线圈上，且第二介电层配置于第一介电层上，而加热器配置于第一介电层与第二介电层之间。下电极配置于反应室中，此是下电极由一导体电极以及一第三介电层所构成，且第三介电层配置于导体电极上。通过上电极中的加热器进行加热以提高反应室内的温度，进而达到蚀刻生成物易于挥发的目的。

主权项

1.一种感应耦合等离子蚀刻机台，其特征是，其包括：一反应室；一上电极，配置于该反应室中，该上电极包括一线圈、一第一介电层、一第二介电层以及一加热器，其中该第一介电层配置于该线圈上，且该第二介电层配置于该第一介电层上，而该加热器配置于该第一介电层与该第二介电层之间；一下电极，配置于该反应室中，该下电极包括一导体电极以及一第三介电层，其中该第三介电层配置于该导体电极上；以及多个控温装置，配置于该反应室中。