[发明专利]水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法有效
| 申请号： | 02151387.2 | 申请日： | 2002-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1428358A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 白石洋;右高园子;服部孝司;新井唯;逆水登志夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | C08G16/02 | 分类号： | C08G16/02;G03F7/004;B41N3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以较少的工序数目制造、高精度且低缺陷的KrF准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的KrF准分子光平版印刷法用光掩模，是在石英玻璃基板(10)上直接形成可将KrF受激准分子激光(波长：约248nm)有效地吸收的抗蚀图案(18)。抗蚀图案(18)，是由以在萘环导入至少结合有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物作为高分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。 | ||
| 搜索关键词： | 水性 可溶性 树脂 感光性 组合 光掩模 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种水性碱可溶性树脂，其特征在于：是由下述通式(1)中所示的萘衍生物，与甲醛或羟基萘醛的缩聚物所构成，前述萘衍生物成分中的至少5％含2个羟基或羧基作为取代基：式中，R1～R8表示从羟基、氢、碳数目为1～4的取代或未取代烷基、卤素、苯基、甲氧基、乙氧基乙基、环丙基、乙酰基、羧基中选出的原子或原子团；还有，R1～R8必定含1个或2个羟基，至少含2个氢原子。
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