[发明专利]具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法无效
| 申请号： | 02150667.1 | 申请日： | 2002-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1429762A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李羲重 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法。这种悬臂包括：一个衬底；一个形成于该衬底上的锚固件；和一块被连接在锚固件上同时保持与衬底的预定间隙的移动板，其中，所述锚固件包括有一个具有预定形状的第一锚固件和一个第二锚固件，该第二锚固件垂直于第一锚固件的一个边缘，并且沿所述移动板的纵轴成形。这种悬臂的形变量，比如由于制造过程中的高温高压导致的该悬臂的移动板的形变量明显减小。从而，这种悬臂的屈服率得以改善，并且采用这种悬臂的制品的可靠性也得以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阶跃 结构 悬臂 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有阶跃式结构的悬臂，该悬臂包括：一个衬底；一个形成于所述衬底上的锚固件；以及一块被连接在锚固件上同时与所述衬底保持预定的间隙的移动板，其中，所述锚固件包括一个具有预定形状的第一锚固件和一个第二锚固件，该第二锚固件垂直于第一锚固件的一个边缘，并且沿着所述移动板的纵轴成形。
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