[发明专利]光刻胶组合物有效
| 申请号： | 02148233.0 | 申请日： | 2002-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1407406A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡米隆;S·L·阿布拉加 | 申请（专利权）人： | 希普雷公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄淑辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光刻胶含有附加酸成分，已发现该酸成分能显著改善制造与使用之间的储存期的稳定性。优选的本发明光刻胶除含有酸成分外还含有诸如乳酸乙酯或丙二醇甲基醚乙酸酯的酯基溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1、含有树脂、光生酸生成剂化合物和有机酸的化学增强正性光刻胶组合物。
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