[发明专利]压电喷墨头及其压力腔成型法无效
| 申请号： | 02147347.1 | 申请日： | 2002-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN1490160A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 杨明勋;蔡志昌 | 申请（专利权）人： | 飞赫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 压电喷墨头是通过压电使压电材料形变，透过震动层压挤压力腔使其中的墨水喷出而在列印媒体上形成文字或图像，现今压电喷墨头的主要制作方法是由陶瓷材料制作压力腔并在叠合压电元件后共烧而成，本发明则由至少包含一大孔洞的硅基底，于大孔洞中填入光阻，对光阻进行黄光微影或蚀刻制程，以在大孔洞的光阻层中形成复数个隔离的小凹槽，则此小凹槽即可用作为压力腔力腔，并可结合另一与其粘合后薄化处理的硅晶片，即一并完成震动层的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 喷墨 及其 压力 成型 | ||
【主权项】：
1、一种压电喷墨头，包括有：一硅基底，该硅基底至少包含有一个大孔洞；一光阻层，填充于该硅基底的大孔洞中，且该光阻层内包含有复数个隔绝的小凹槽，该小凹槽用来作为一压力腔；一粘着层，覆盖在该硅基底、该光阻层以及该小凹槽的表面上，用来作为该小凹槽成型制程的阻挡层；以及一硅层，形成于该粘着层表面上，用来作为该压电喷墨头的一震动层。
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