[发明专利]发光二极管金属电极的制造方法及其制造装置无效
| 申请号： | 02146980.6 | 申请日： | 2002-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1492519A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 余佳骏;江守权;盛约瑟;曾淑靖;李欣仪 | 申请（专利权）人： | 洲技科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 台湾省苗*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种发光二极管金属电极的制造方法及其制造装置。在制作金属电极时，先提供磊芯片，并清洗之；然后利用特殊设计的载具，配合磁性组件及磁性光罩贴设于芯片表面，以直接进行金属蒸镀步骤，进而在芯片完成金属电极的制作。本发明毋需使用已知微影蚀刻或光阻浮离微影制程，即可制作出发光二极管的金属电极，故具有制程简单、快速及制造成本低等的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 金属电极 制造 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种发光二极管金属电极的制造方法，其特征是包括下列步骤：提供磊芯片，并清洗之；将该芯片置于一载具中，且于该芯片上设置一磁性光罩，以利用该载具底部的磁性组件吸附该磁性光罩，并同时固定该芯片；以磁性光罩为屏蔽，进行金属蒸镀，在该芯片上直接形成金属电极；以及移除该磁性光罩及该载具。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洲技科技股份有限公司，未经洲技科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02146980.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
