[发明专利]用于使面板表面曝光的装置无效
申请号: | 02146972.5 | 申请日: | 2002-10-29 |
公开(公告)号: | CN1417645A | 公开(公告)日: | 2003-05-14 |
发明(设计)人: | 吉勒·维贝;曼努埃尔·奎瓦斯 | 申请(专利权)人: | 自动化技术公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 法国瓦*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及使面板(20),尤其是印刷电路板的至少一个表面(22)曝光的装置,该装置包括光源(26)。该装置还包括用于遮挡所述光源(26)的两个移动挡板(16A,16B),每个所述挡板(16A,16B)具有相应边缘,所述边缘一起限定一个曝光窗,通过曝光窗在将要曝光的面板(20)的所述表面(22)上形成光区;使所述挡板(16A,16B)在所述光源(26)和所述面板(20)之间的一个平面(P)上移动的装置(32);和控制所述挡板(16A,16B)移动的控制装置(34′),使得两个挡板(16A,16B)以大体上相同速度(V)并沿着相同方向移动通过所述面板(20)的表面(22)。 | ||
搜索关键词: | 用于 面板 表面 曝光 装置 | ||
【主权项】:
1、一种用于使面板(20),尤其是印刷电路板的至少一个表面(22)曝光的装置,该装置包括光源(26)和用于支撑所述面板(20)朝向所述光源(26)的支撑装置(21),该装置的特征在于,它进一步包括:第一和第二移动挡板(16A,16B;16′A,16′B),它们适合于依次地运动以至少部分地遮挡所述光源(26),每个所述挡板(16A,16B;16′A,16′B)具有相应边缘(40A,40B;40′A,40′B,40’C),所述边缘(40A,40B;40′A,40′B,40’C)一起限定了适合于被调节的曝光窗(38),通过曝光窗在将要曝光的面板(20)的所述表面(22)上形成光区(38′);使所述挡板(16A,16B;16′A,16′B)移动的移动装置(32;32A,32B;32′A,32′B),用于使所述挡板(16A,16B;16′A,16′B)沿着在所述光源(26)和所述面板(20)之间的一个平面(P)移动;以及移动控制装置(34;34′),用于随着将要曝光的表面(22)的感光度而变化以及随着所述光源的功率而变化来控制所述挡板(16A,16B;16′A,16′B)的移动,使得两个挡板(16A,16B;16′A,16′B)以大体上相同速度(V)并沿着相同方向(D1,D2)移动通过所述面板(20)的表面(22)。
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