[发明专利]环振式数字加速度传感器无效
| 申请号： | 02146782.X | 申请日： | 2002-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1405566A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘理天;张兆华;岳瑞峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/10 | 分类号： | G01P15/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 环振式数字加速度传感器属于加速度传感器制造领域，它是一种由做在硅梁或者硅膜上的存在由应力引起频率差别的两个环行振荡器形成的加速度敏感元件、混频器和滤波器依次连接而成的数字加速度传感器；所述的两个环行振荡器分布在硅梁或者硅膜的应力敏感集中区，一个沿着主应力方向，一个和主应力方向垂直；或者一个环行振荡器分布在硅梁或者硅膜的应力敏感集中区，而另一个环行振荡器分布在非应力敏感区；混频器的输入端分别和上述两个环行振荡器的输出端相连，而且混频器和滤波器都是做在非应力敏感的厚体硅上的。该传感器由滤波器输出的频率信号和加速度值直接相关。它具有制作简单、数字化程度高、运行可靠、可充分利用压敏效应的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 环振式 数字 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.环振式数字加速度传感器，含有加速度敏感元件，其特征在于：它是一种由做在硅梁或者硅膜上的存在由应力引起频率差别的两个环行振荡器形成的加速度敏感元件、混频器和滤波器依次连接而成的数字加速度传感器，所述的两个环行振荡器都分布在硅梁或者硅膜的应力敏感集中区，一个是沿着主应力方向的平行环行振荡器，一个是和主应力方向垂直的垂直环行振荡器；所述混频器的输入端分别和平行环行振荡器和垂直环行振荡器的输出端相连，而且混频器和滤波器都是做在非应力敏感的厚体硅上的。
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