[发明专利]用于旋转式托架的环形容器有效
| 申请号： | 02143442.5 | 申请日： | 2002-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1409385A | 公开（公告）日： | 2003-04-09 |
| 发明（设计）人： | R·奥布维格尔 | 申请（专利权）人： | 塞兹股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥凌,郑建晖 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明介绍一种环形容器，特别是一种用以容纳诸如半导体之类的盘形物件的、旋转式托架的环形容器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 托架 环形 容器 | ||
【主权项】：
1.一用于容纳具有下列特征的盘形物件的旋转式托架的环形容器：a.所述的容器在用于所述物件的所述托架的一支撑面的径向延伸段上具有至少一个环形通道(26，26′)，b.在邻近至少一个环形通道(26，26′)处，至少抽吸装置以其内壁(12)为起点在所述的容器中运行，c.所述的抽吸装置包括定位于所述的内壁(12)的区域的抽吸开口(16)和在径向紧靠着所述的抽吸开口(16)的抽吸端的一环形抽吸室(18，18′，18″)，e.一压力分配室(30)有一抽吸管线(38)连接到所述的抽吸室(18，18′，18″)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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