[发明专利]具有负温度漂移系数的薄膜滤波器的制作方法有效
| 申请号： | 02140833.5 | 申请日： | 2002-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1432826A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;吕昌岳 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B6/26;H04J14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具有负温度漂移系数的薄膜滤波器的制作方法，该薄膜滤波器包括一具有多个膜层的膜堆和一基片，其中，该膜堆沉积在该基片上，该基片的热膨胀系数大于膜堆材料的热膨胀系数，并在膜层内产生一压应力。该薄膜滤波器的制作方法包括如下三个步骤：第一步准备一由玻璃基片与膜堆组成的薄片，其中该基片的热膨胀系数大于该膜堆的热膨胀系数；第二步使用至少一离子源，用高能离子轰击该薄片的膜堆；第三步将该轰击后的薄片切成多片。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 漂移 系数 薄膜 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有负温度漂移系数的薄膜滤波器的制作方法，其包括如下步骤：第一步准备一由玻璃基片与膜堆组成的薄片，其中该基片的热膨胀系数大于该膜堆材料的热膨胀系数；第二步将该薄片放置在一目标位置，使用至少一离子源轰击该薄片的膜堆，其中该至少一离子源被加热来释放离子，且该离子在一电场作用下加速运动；第三步将轰击后的薄片切成多片。
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