[发明专利]耐高温等离子体谐振腔

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的耐高温等离子体谐振腔，包括有一筒形的谐振腔壳体和包覆在谐振腔壳体外的隔热层，谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体，其不同之处在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外围和两端设置有冷却水道。本发明的优点在于：1.通过在谐振腔体的外周和两端设置冷却水道，形成一个整体形的冷却带，这不仅增大了冷却量，而且使冷却分布更为均匀，可使等离子体谐振腔在较低温度下长时间的连续工作，同时也延长了它的使用寿命；2.有助于等离子体谐振腔加工功率的进一步提高；3.采用薄石英玻璃套罩在隔热层的外面，可避免掉渣现象的发生，能使隔热层长期使用而无损坏，保持稳定可靠洁净的隔热性能。

主权项

1、一种耐高温等离子体谐振腔，包括有一筒形的谐振腔壳体(4)和包覆在谐振腔壳体外的隔热层，谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体(7)，其特征在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外围和两端设置有冷却水道(8)。