[发明专利]管筒状工件内表面束线离子注入装置无效
| 申请号： | 02133102.2 | 申请日： | 2002-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1414136A | 公开（公告）日： | 2003-04-30 |
| 发明（设计）人： | 田修波;杨士勤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利事务所 | 代理人： | 毕志铭 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 管筒状工件内表面束线离子注入装置，它涉及一种对管筒状工件内表面实施离子注入的装置，特别是对细长管内壁实施离子注入的装置。它包含离子注入机(1)、真空室(2)和偏转装置(3)，偏转装置(3)设置在工件A的内孔中，偏转装置(3)包含有产生与离子束飞行方向相反电场的轴向电极(3－1)和接地电极(3－2)，以及设置在轴向电极(3－1)和接地电极(3－2)之间的径向电极(3－3)，轴向电极(3－1)和接地电极(3－2)与工件A的轴线相垂直，在接地电极(3－2)上开有一个使离子束射向轴向电极(3－1)的孔(3－4)，径向电极(3－3)与工件A的轴线相互平行。该装置彻底解决了细长管工件内表面的离子注入问题。 | ||
| 搜索关键词： | 管筒状 工件 表面 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
1、管筒状工件内表面束线离子注入装置，它包含有离子注入机(1)和真空室(2)，其特征在于它还包含有一个使离子注入机(1)发出的离子束在管筒形的工件A的内孔中发生偏转的偏转装置(3)，偏转装置(3)设置在工件A的内孔中，偏转装置(3)包含有产生与离子束飞行方向相反电场的轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)，以及设置在轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)之间的径向电极(3-3)，轴向电极(3-1)和接地电极(3-2)与工件A的轴线相垂直，在接地电极(3-2)上开有一个使离子束射向轴向电极(3-1)的孔(3-4)，径向电极(3-3)与工件A的轴线相互平行。
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