[发明专利]利用等离子体技术沉积复合型耐腐蚀层和亲水层的方法

摘要

本发明提供了一种利用等离子体技术沉积复合型耐腐蚀层和亲水层的方法，包括：步骤一：通过工程气体注入通道向沉积室内注入比例为1500sccm：2100sccm的HMDSO(六甲基二硅氧烷)和氦气混合而成的工程气体，在连续移动的铝板的表面沉积形成高分子耐腐蚀层。步骤二：通过工程气体注入通道向沉积室内注入比例为700sccm：2100sccm的碳化氢气体和氦气混合而成的工程气体，在连续移动的铝板的耐腐蚀层的表面沉积形成高分子亲水层。本发明的有益效果是：操作方便，步骤简单，可在铝板表面沉积复合型耐腐蚀层和亲水层，使铝板的耐腐蚀性大大增强。

主权项

1.一种利用等离子体技术沉积复合型耐腐蚀层和亲水层的方法，其特征在于：包括：步骤一：接通电源后，卷板装置(105)和卷板装置(107) 的电机(图中未示出)分别驱动卷板装置(105)沿 逆时针方向旋转和卷板装置(107)沿顺时针方向旋 转，从而使卷在卷板装置(105)上的铝板(104)在 传送轮系(109)的导向下从沉积室(101)内的上部 电极(102)和下部电极(103)之间穿过，进入卷板 室(108)并在传送轮系(109)的导向下连续地卷在 卷板装置(107)上；与此同时，通过工程气体注入 通道(111)向沉积室(101)内注入比例为1500sccm： 2100sccm的HMDSO(六甲基二硅氧烷)和氦气混合而 成的工程气体，并接通直流电源(114)，在上部电 极(102)、下部电极(103)与铝板(104)之间施 加1100V-1300V的直流电压，从而使上部电极(102)、 下部电极(103)与铝板(104)之间的工程气体被电 离成等离子体，在连续移动的铝板(104)的表面沉 积形成高分子耐腐蚀层(121)；步骤二：通过上述步骤一在整卷铝板(104)的表面沉积上高 分子耐腐蚀层(121)之后，再次接通电源，卷板装 置(105)和卷板装置(107)的电机(图中未示出) 分别驱动卷板装置(105)沿顺时针方向旋转和卷板 装置(107)沿逆时针方向旋转，从而使卷在卷板装 置(107)上的沉积有高分子耐腐蚀层的铝板(104) 在传送轮系(109)的导向下从沉积室(101)内的上 部电极(102)和下部电极(103)之间穿过，进入卷 板室(106)并在传送轮系(109)的导向下连续地卷 在卷板装置(105)上；与此同时，通过工程气体注 入通道(111)向沉积室(101)内注入比例为700sccm： 2100sccm的碳化氢气体和氦气混合而成的工程气 体，并接通直流电源(114)，在上部电极(102)、 下部电极(103)与铝板(104)之间施加1100V-1300V 的直流电压，从而使上部电极(102)、下部电极(103) 与铝板(104)之间的工程气体被电离成等离子体， 在连续移动的铝板(104)的耐腐蚀层(121)的表面 沉积形成高分子亲水层(122)。