[发明专利]电子源及其制造方法无效
| 申请号： | 02127407.X | 申请日： | 2002-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1402292A | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 户岛博彰;石渡和也;宇田芳己 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J1/30 | 分类号： | H01J1/30;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴丽丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种电子源及其制造方法。在包含电子发射部件的电子源中，用通过被形成在绝缘体上的开口部分对第一或者第二导体进行连接的第三导体，使电子发射部件与第一或者第二导体连接，其开口部分形成为从第三导体的一端向另一端变窄的形状。本发明避免了第三导体在和第一或者第二导体的连接部分中因第一或者第二导体的热应力受到损伤的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电子源，具有，配置在基板上，相互交叉的第一导体及第二导体；配置在上述第一或者第二导体的下部，绝缘上述交叉的第一导体和第二导体的绝缘体；电气连接上述第一导体和上述第二导体的电子发射部件，其特征在于：上述第一或者第二导体和上述电子发射部件的连接，通过被设置在上述绝缘体上的开口部分由第三导体完成，该开口部分，在完成上述第一或者第二导体和上述电子发射部件的连接的该第三导体的一端的区域上，其宽度具有从该端向另一端变窄的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02127407.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：在气体环境中执行曝光处理的基片处理系统
- 下一篇：校准方法和存储系统
