[发明专利]感应耦合式等离子体装置

摘要

提供一种感应耦合式等离子体装置，此感应耦合式等离子体装置包括一处理腔室、一顶部等离子体源腔室、一反应器、一感应器、一开孔和一挡板。处理腔室具有一晶片基座，上面装设一基底。顶部等离子体源腔室装设在处理腔室。反应器装设在顶部等离子体源腔室之中；具有一通道，一种气体流经此通道；以及把等离子体各反应产物供给处理腔室。感应器装设在顶部等离子体源腔室与反应器之间并缠绕反应器。开孔设置在其中装设感应器的、反应器周边空间与处理腔室之间。挡板可开启和关闭开孔。因而，可以改进发自一等离子体源的各种自由基的均匀径向分布。

主权项

1.一种感应耦合式等离子体装置，包括：一处理腔室，具有一其上装设一基底的晶片基座；一顶部等离子体源腔室，装设在处理腔室上；一装设在顶部等离子体源腔室之中的反应器，具有一气体由之流过的通道，并把等离子体反应产物供给处理腔室；一感应线圈，装设在顶部等离子体源腔室与反应器之间并缠绕于反应器；一开孔，设置在其中装设感应线圈的反应器外围空间与处理腔室之间；以及一开启和关闭所述开孔的挡板。