[发明专利]一种喷墨式打印头晶粒的喷孔片的制作方法无效
| 申请号： | 02126872.X | 申请日： | 2002-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1468712A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 杨长谋;周景瑜 | 申请（专利权）人： | 飞赫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆阶段制作的喷孔片结构，其中硅基底包含有一致动组件；一光阻薄膜形成于硅基底的表面上；一第一开口形成于光阻薄膜内，以暴露致动组件的表面，可以作为一喷墨腔；一第一金属层形成于光阻薄膜的表面上；一第二金属层形成于第一金属层的表面上；以及一第二开口贯穿第二金属层以及第一金属层，且位于第一开口的上方，以作为一喷孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷墨式 打印头 晶粒 喷孔片 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆阶段制作的喷孔片结构，包括有：a)一硅基底，包含有一致动组件；b)一光阻薄膜，形成于硅基底的表面上；c)一第一开口，形成于光阻薄膜内，用以暴露致动组件的表面，以作为一喷墨腔；d)一第一金属层，形成于光阻薄膜的表面上；e)一第二金属层，形成于第一金属层的表面上；f)一第二开口，贯穿第二金属层以及第一金属层，且位于第一开口的上方，以作为一喷孔。
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