[发明专利]形成聚酰亚胺膜的方法及其生产设备

摘要

本发明是一形成高密度聚酰亚胺膜的方法及其生产设备。该生产设备主要包含一原料供给装置；一真空腔体；一能量供应器；一基板冶具；一熟成固化装置。由以上装置组合成为生产设备，将含有酰胺键的单体或聚合物或共聚合物为原料，在低压环境中以热、电子、光、放射线或离子为能量，将酰胺键中的H⁺抽出形成不饱和的C＝N亚胺键，如此经真空中H⁺抽出II电子的根化交联聚合成为未固化的高密度聚酰亚胺膜，再经热或光的加成，重排形成固化的高密度聚酰亚胺膜。经由本发明的方法可以使原本不易加工成膜的聚酰亚胺，能很轻易地在基板上形成膜状高密度聚酰亚胺。

主权项

1、一种形成聚酰亚胺膜的方法，其特征在于它至少包含：a、由含有酰胺键的物质为起始原料，由一能量供应器提供能量解离成小分子；b、在真空低压下，抽出解离出来的氢离子，在放在真空环境中的基板表面形成一膜状的含有不饱和聚酰亚胺结构的活性物质，该活性物质反复交联聚合形成更大的聚合物。