[发明专利]集成铁电微镜式光开关无效
| 申请号： | 02125400.1 | 申请日： | 2002-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1389749A | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | 任天令;刘理天;徐杨 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/28;H04J14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 集成铁电微镜式光开关属于光通信用的微型光开关领域,其特征在于它包含有铁电薄膜悬臂梁及与该梁做成一体的微反射镜,所述的铁电膜可以是单层、双层或多层所述的悬臂梁是绝缘层/金属/铁电材料/金属/绝缘材料/衬底层构成的多层膜结构;悬臂梁衬底材料是Si或GaAS或GaN或InP半导体材料或它们的复合。相应地给出了一种SiO2/Pt/PZT(锆钛酸铅)/Pt/Ti/SiO2/Si复合膜的例子。同时给出了典型的集成铁电微镜式光开关的制作流程图。与现有的可动镜式光开关相比,它具有体积小、结构简单、容易控制与操作、可靠性高、易加工且适合批量生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 铁电微镜式光 开关 | ||
【主权项】：
1.集成铁电微镜式光开关，其特征在于：它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02125400.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
