[发明专利]真空层压设备无效
| 申请号: | 02119956.6 | 申请日: | 1997-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN1434520A | 公开(公告)日: | 2003-08-06 |
| 发明(设计)人: | 吉野豪人;深江公俊;井上裕二;丝山诚纪 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王景林 |
| 地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种真空层压设备,它适用于对堆积体进行真空层压,此真空层压设备包括:具有前表面的安装台,上面设有所述堆积体;由环形空心管组成的抽真空管,沿其内周相间隔开地开有一批通风孔,此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上,特征在于:上述安装台包括一钢板,此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面,所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上,同时将密封剂布设到这一整个的接触区上,由此使抽真空管与钢板成为整体。本发明实现了一种大尺寸的真空层压设备。安装台与抽真空管是大尺寸的,不存在常规真空层压设备中当安装台与抽真空管大尺寸化时带来的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 真空 层压 设备 | ||
【主权项】:
1.一种真空层压设备,它适用于对堆积体进行真空层压,此真空层压设备包括:具有前表面的安装台,上面设有所述堆积体;由环形空心管组成的抽真空管,沿其内周相间隔开地开有一批通风孔,此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上,特征在于:上述安装台包括一钢板,此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面,所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上,同时将密封剂布设到这一整个的接触区上,由此使抽真空管与钢板成为整体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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