[发明专利]一种载带封装处理器

摘要

TCP处理器传送TCP带(X),将多个TCP(1)在薄膜衬底上对准,使得各TCP的测试片相对于测针(9)精确地定位,以便用于半导体集成电路测试。这里,链轮(4,5)可实现TCP带沿其纵向方向传送;然后,TCP带暂时停止,使得TCP被夹紧且朝测针下降。CCD照相机(10)拍摄TCP的图像(G1),并将其与基准图像(G2)比较,从而对TCP相对测针的定位进行两维的精确调节。或者,TCP带通过一对滚轮在滚轮间产生的摩擦来传送TCP带。根据TCP带的传送值对滚轮的旋转进行反馈控制。因此,可以保证测针和载带封装的测试片之间具有所需精度的定位,而不会使TCP带变形或损坏。

主权项

1.一种载带封装(TCP)处理器，其可以顺序和间歇地传送TCP带(X)，使多个所述载带封装(1)对准，可使各所述载带封装的测试片(1b)暂时地停止，并与和半导体集成电路测试装置相连的测针(9)相接触，所述TCP处理器包括：传送元件(4，5)，可顺序和间歇地传送所述TCP带，并可暂时停止所述TCP带的各所述载带封装，并使其位于与所述测针相对的位置；加压元件(2，3，6)，可向下压所述TCP带的载带封装，使得所述TCP的测试片分别与所述测针相接触；图像拍摄装置(10)，其固定在指定位置，可以拍摄所述载带封装的图像；和位置调节元件(7，11，12)，可以调节所述载带封装的定位，使得所述载带封装的拍摄图像(G1)与基准图像(G2)相匹配，所述基准图像代表了其测试片与所述测针相接触以进行测试的所述载带封装的标准定位。