[发明专利]抗蚀剂和蚀刻副产品除去组合物及使用该组合物除去抗蚀剂的方法无效
| 申请号： | 02108303.7 | 申请日： | 2002-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1407409A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 朴东镇;金经大;全相文;黄震虎;孙一现;权相五;田弼权 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂除去组合物，具有除去抗蚀剂、聚合物、有机金属聚合物和蚀刻副产品如金属氧化物的优异性能，该抗蚀剂除去组合物不侵蚀暴露于组合物中的下层并且在清洗后不留下残余物。该抗蚀剂除去组合物含烷氧基N－羟烷基链烷酰胺和溶胀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 蚀刻 副产品 除去 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂除去组合物，包括：烷氧基N-羟烷基链烷酰胺；和溶胀剂。
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