[发明专利]离子植入机台工艺参数自动预调系统及方法有效
| 申请号： | 02107191.8 | 申请日： | 2002-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1445662A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 叶景丰 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/44 | 分类号： | G06F9/44;G06F17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾省新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种离子植入机台工艺参数自动预调系统及方法。其中，离子植入机台工艺参数自动预调系统包括：数据库、信息处理服务器及机台控制器。在数据库中，至少包括由站别代号、机台代号、晶圆识别码及工艺参数所形成的信息，而信息处理服务器，用以获取晶圆盒的识别码，以及依据所获取的晶圆盒的识别码，自数据库获取信息。机台控制器，是依据信息的工艺参数调制晶圆盒进行离子植入时所需的配方，且在同一时间信息处理服务器也会控制机械手臂将晶圆盒加载至离子植入机台。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 机台 工艺 参数 自动 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机台工艺参数自动预调系统，该离子植入机台具有至少一机械手臂，是经由一植入窗口将一晶圆盒加载该离子植入机台，其特征为：该离子植入机台工艺参数自动预调系统包括：一数据库，至少包括由一站别代号、一机台代号、一晶盒识别码及一工艺参数所形成的一信息；一信息处理服务器，用以获取该晶圆盒的该识别码，以及依据所获取的该晶圆盒的该识别码，自该数据库获取该信息；以及一机台控制器，依据该信息中的该工艺参数调制该晶圆盒进行离子植入时所需的配方，且在同一时间该信息处理服务器控制该机械手臂将该晶圆盒加载该离子植入机台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旺宏电子股份有限公司，未经旺宏电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02107191.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
