[发明专利]集成电路制造的机台监控方法与系统

摘要

本发明涉及一种集成电路制造的机台监控方法与系统，是利用机台事件的重演，以得知芯片制造过程所发生的问题。利用下载数据库中的机台事件数据，进行绩效指标的运算与管制图的建立，以定义限制状况，并辅以图形化的电脑界面，执行机台重演系统，借以发现异常问题点以进行矫正。此集成电路制造的机台监控方法是利用建立机台历史事件的重演模式与绩效指标，来检查过去绩效，并利用建立机台的绩效指标的管制图与规则资料库，以预测未来可能问题。

主权项

1.一种集成电路制造的机台监控方法，当多个机台进行多个芯片批次的制造时，用于监控这些机台的多个事件的过程变化，其特征在于，该集成电路制造的机台监控方法至少包括：提供一数据库，其中该数据库是具有多个机台事件数据；从该数据库下载这些机台事件数据；利用汶些机台事件数据计算这些机台的多个绩效指标；利用这些机台的这些绩效指标建立一管制图；利用这些机台事件数据、这些绩效指标与咳管制图建立一规则资料库；将这些机台事件数据依时间排序形成一事件日历档；以一机台重演系统执行一机台重演步骤，以读取这些机台的这些事件。