[发明专利]表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 01821908.X | 申请日： | 2001-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1486277A | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | M·布洛姆伯格 | 申请（专利权）人： | 威易拉有限公司;瓦尔蒂翁特克尼里伦图基穆斯克斯库斯公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;章社杲 |
| 地址： | 芬兰赫*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式压力传感器结构，特别是用于测量绝对压力的传感器的结构及其制造方法。这种传感器包括至少一个固定电极(3)以及至少一个与此固定电极(3)电绝缘且以空间(10)与所述固定电极(3)公开的可动电极(6，7)。依据本发明，所述可动电极(6，7)的一部分是由多孔性多晶硅层(6)所形成，而这一部分在已完工的部件中是作为所述柔性的可动电极(6，7)的整体部分保留下的。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 微型 机械 加工 绝对 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.电容式压力传感器结构，特别是用于测量绝对压力的传感器结构，此传感器包括至少一个固定电极(3)以及至少一个与此固定电极(3)电绝缘且以空间(10)与所述固定电极(3)分开的可动电极(6，7)，其特征在于：所述可动电极(6，7)的一部分是由多孔性多晶硅层(6)所形成，而这一部分在已完工的部件中是作为所述柔性的可动电极(6，7)的整体部分保留下的。
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