[发明专利]目标气体的分离方法和分离装置

摘要

一种使用填充有吸附剂的多个吸附单元，由混合气体中分离目标气体的方法，在各吸附单元反复进行包括如下工序的1个循环：向吸附单元(1)导入混合气体，由吸附剂吸附不要气体，再由吸附单元导出成品气体的工序；使不要气体由吸附剂脱吸的工序；清洗吸附单元的工序。吸附单元(1)具有附有成品气体出口(1d)的第1子单元(1a)和附有混合气体入口(1e)的第2子单元(1b)。在脱吸工序中，第1和第2子单元(1a、1b)呈非连通状态，第2子单元(1b)的混合气体入口(1e)呈开放状态。清洗工序包括通过使两子单元(1a、1b)处于连通状态，将第1子单元(1a)的第1残留气体导入第2子单元(1b)，从而清洗第2子单元(1b)的工序。

主权项

1.一种目标气体的分离方法，使用填充有吸附剂的多个吸附单元，由混合气体中分离目标气体，其特征在于，在各吸附单元，反复进行包括以下工序的1个循环：向所选择的某一吸附单元内导入所述混合气体，由所述吸附剂吸附所述混合气体中所含的不要气体，再由所述吸附单元导出目标气体得到浓集的成品气体的吸附工序；使所述不要气体由所述吸附剂脱吸的脱吸工序；使用清洗气体，将残留在所述吸附单元内的残留气体从所述吸附单元排出的清洗工序；使所述各吸附单元的内部压力上升的升压工序，所述各吸附单元具有：具有导出所述成品气体的成品气体出口的、填充有第1吸附剂的第1子单元；具有导入所述混合气体的混合气体入口的、与所述第1子单元相连并填充有第2吸附剂的第2子单元；以及使所述第1子单元与所述第2子单元在连通状态与不连通状态之间切换的切换装置，通过使所述第1子单元和第2子单元处于非连通状态，同时打开所述第2子单元的所述混合气体入口，进行所述脱吸工序，所述清洗工序包括：通过使所述第1子单元与第2子单元处于连通状态，将残留在所述第1子单元的第1残留气体作为所述清洗气体导入所述第2子单元，同时，将残留在所述第2子单元的第2残留气体经所述混合气体入口排出的、第2子单元的清洗工序。