[发明专利]将试剂延期注入等离子体的注射器和方法

摘要

提供了用于将流体注入等离子体流的方法和装置，其在长时间使用过程中能均匀分配并且减少堵塞的可能性。一种喷嘴(2)，包含用于限制流体流动的第一通道部分(6)，其外形使得第一通道部分(2)的内壁平行于第一轴(9)。该喷嘴(2)也包含与第一通道部分(69)流体连通的第二通道部分(8)。第二通道部分(8)包含凹壁部分，使第二通道部分(8)的内壁以预定角度偏离第一轴(9)。第二通道部分(8)减少了使用期间堵塞层在第二通道部分(8)的内壁上的形成。而且，喷嘴(2)还可以包含伸入等离子体的尖端部分(28)。喷嘴(2)可以并入注射器体系或者在注射器体系中可互换，所述注射器体系被设计用于在等离子体沉积装置中操作。

主权项

1.一种用于将流体注入等离子体的注射器体系，其包含：包含喷嘴(2)的基体(4)，其包含：限定第一通道部分(6)的第一内壁(3)，用于限制流体的流动，并且其外形使得第一通道部分(6)的内壁(3)平行于第一轴(9)；和限定与第一通道部分(6)流体连通的第二通道部分(8)的第二内壁，并且其具有凹壁部分，这样第二通道部分的第二内壁以预定角度偏离第一轴(9)，第二通道部分(8)减少了使用期间堵塞层(19)在第二通道部分(8)的第二内壁上的形成。