[发明专利]可辐射固化的组合物

摘要

公开了一种光致抗蚀剂组合物，其是苯乙烯马来酸酐共聚物与(甲基)丙烯酸酯和含羟基侧链的部分酯化产物。非必要地存在含酰胺的(甲基)丙烯酸酯。这些组合物显示出如下性能间的良好平衡：UV固化速率、无粘性、和在稀碱性溶液中未固化组合物的溶解性。

主权项

1.一种可辐射固化的组合物，其在碱性水溶液中可显影，该组合物包括：(a)共聚物，该共聚物为苯乙烯马来酸酐共聚物与包含至少2个羟基的下式I的化合物的部分酯化产物， 式I其中：p为0或1(即当p为0时，Y直接与羰基相连)；n为1-7的整数；Ra，Rb和Rc独立地为H或甲基，优选Ra为甲基或H且Rb和Rc为H；X和W独立地代表二价非必要取代的有机连接部分，其优选选自一种或多种非必要取代的烃基，烃基醚；聚(烃基醚)；烃基酯，聚(烃基酯)和聚(烃基醚烃基酯)；更优选选自：亚烷基，亚烷基醚，聚醚，聚酯，亚烷基酯和聚醚聚酯；Y为氧(-O-)，亚氨基(-NH-)或烃基取代的亚氨基(-NR1-，其中R1为烃基，优选烷基)；(b)非必要地，苯乙烯马来酸酐共聚物与包含一个或多个羟基的如下式所示的化合物的部分酯化产物：如/或使得R2和R3独立地代表H或非必要取代的烃基，优选非必要取代的烷基，芳基，环烷基，或芳烷基；在每种情况下R4独立地代表直接键合(即在此OH连接到氮或羰基上)或二价非必要取代的有机连接部分，优选非必要取代的烃基；更优选非必要取代的亚烷基，亚芳基，亚环烷基，或亚芳烷基；以及m为1或更大；和(c)非必要地，含酰胺的(甲基)丙烯酸酯。