[发明专利]具有缓冲性能的边缘夹持校准器有效
| 申请号： | 01818061.2 | 申请日： | 2001-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1479667A | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·巴布斯;马修·科迪;威廉·J·福斯奈特;才·H·金 | 申请（专利权）人： | 阿赛斯特技术公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08;B65G49/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有缓冲性能的边缘校准器(100)以及用于增加晶片通过装置的处理量的方法。根据一个实施例，本发明有第一和第二缓冲器臂(106a、106b)以及夹头臂(104)。工件可以在支承于夹头臂(104)上时对齐。当工件对齐后，夹头臂将工件传递给缓冲器臂(106a、106b)，这样，第二工件可以在夹头臂(104)上对齐。当第二工件进行对齐时，末端执行器能够将第一工件从缓冲器臂(106a、106b)上取走，并取回另一工件，以便布置在夹头臂(104)上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 缓冲 性能 边缘 夹持 校准 | ||
【主权项】：
1.一种处理工具，包括：第一和第二缓冲器臂，所述第一和第二缓冲器臂用于在打开位置和闭合位置之间运动，并用于当所述第一和第二缓冲器臂处于闭合位置时支承工件；以及夹头臂，该夹头臂用于支承工件，并在所述夹头臂和所述第一和第二缓冲器臂之间传递工件。
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