[发明专利]用于自检测室回收低温流体或气体的方法及装置有效

专利信息
申请号: 01817917.7 申请日: 2001-10-22
公开(公告)号: CN1535383A 公开(公告)日: 2004-10-06
发明(设计)人: 马丁·泰里奥;菲利普·布洛斯坦 申请(专利权)人: 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司
主分类号: G01R31/316 分类号: G01R31/316
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 寇英杰
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 发明提供了几种方法和装置,这些方法和装置可对元件例如印刷电路板、集成电路、子系统或其它元件进行有效的环境检测。在本发明的一种方法中,可将待测元件放入一室内,该室具有充满气体的内部空间。通过在该待测元件附近巧妙地设置一根或多根冷却旋管来间接冷却该元件,以及向该冷却旋管供应来自低温流体源的低温流体;热低温流体可通过一种或两种装置进行回收:温差环流回路,以及用于再利用热低温流体的存储和压缩装置;所述内部空间内最好填充有干燥气体。
搜索关键词: 用于 检测 回收 低温 流体 气体 方法 装置
【主权项】:
1.一种对元件进行环境检测的方法,所述方法包括步骤:(a)将待测元件放入一室内,所述室具有充满气体的内部空间;(b)通过在所述待测元件附近巧妙地设置一根或多根冷却旋管来间接冷却所述元件;(c)向所述冷却旋管供应来自低温流体源的低温流体,从而冷却所述元件,并生成热低温流体;以及(d)以温差环流方式,利用一种温差环流导管回路将所述热低温流体回收至所述低温流体源。
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