[发明专利]一种组合涂复系统及方法无效
| 申请号： | 01815959.1 | 申请日： | 2001-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1461234A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | X－D·孙 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;C23C14/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于高产地形成及分析一组材料涂层的系统和方法。这些方法包括有选择地将多种材料(14)中至少一种传送到具有多个预定区域(22)的基板表面(16)，以便在每个区域上形成预定涂层(30)。在材料的选择传送中，多种材料中的每一种设置成可同时传送到基板上。系统(10)包括基板(18)，基板包括具有多个预定区域(22)的表面(16)，其提供了对基板进行涂覆的多种材料(14)。设置了涉及多种材料的传送装置(12)，以便将多种材料中的每一种同时传送到基板表面。此外，控制器(26)用来控制传送装置有选择地传送多种材料，使基板的每个预定区域均具有预定的涂层(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种系统(10)，用于形成一组材料涂层，包括：基板(18)，包括具有多个预定区域(22)的表面(16)；多种材料(14)，用于对所述基板进行涂复；涉及多种材料的传送装置(12)，其中，所述传送装置设置成可将所述多种材料中的每一种同时传送到所述基板的所述表面；以及控制器(26)，控制所述传送装置有选择地传送所述多种材料中的每一种，使所述基板的所述每个预定区域均具有预定涂层(30)。
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