[发明专利]玻璃衬底的预多晶硅被覆无效
| 申请号： | 01815870.6 | 申请日： | 2001-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1469848A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | K·S·劳;D·梅丹 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C03C17/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于在预退火玻璃衬底上形成多晶硅层的方法和装置。在一个技术方案中，该方法包含：在沉积室中装载预退火玻璃衬底，在预退火玻璃衬底上沉积非晶硅层，对预退火玻璃衬底进行退火，以便在其上形成多晶硅层。非晶硅层可以在进行退火步骤的同时沉积，以便在预退火玻璃衬底上生成多晶硅层。可以在沉积非晶硅层之前沉积氮化物层和/或氧化物层，并且对预退火玻璃衬底进行退火。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 衬底 多晶 被覆 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工衬底的方法，包括：(a)在沉积室中装载预退火玻璃衬底；(b)在预退火玻璃衬底上沉积非晶硅层；和(c)对预退火玻璃衬底进行退火，以便在其上形成多晶硅层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01815870.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
