[发明专利]铈系研磨材料、其品质检验方法和制造方法有效
| 申请号： | 01815781.5 | 申请日： | 2001-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1464901A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 内野义嗣;山崎秀彦;高桥和明 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了铈系研磨材料的品质检验方法，该方法能对铈系研磨材料的研磨特性简便地进行品质检验。具体地说，该方法是使用X射线衍射测定法的品质检验方法，例如根据由对应于LnxOy的峰强A与对应于LnF3的峰强B求出的B/A来进行品质检验。本发明还提供了可获得具有给定研磨特性的铈系研磨材料的铈系研磨材料制造方法、以及具有与用途对应的给定研磨特性的铈系研磨材料。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 品质 检验 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.铈系研磨材料的品质检验方法，它用以Cu-Kα1射线作为X射线源的X射线衍射测定法检验含有氟、并含有相对于Ce分别在0.5原子％以上的La和Nd、比表面积在12米2/克以下的铈系研磨材料的研磨特性，其特征在于，由X射线衍射测定来测定衍射角(2θ)为5～80度范围内最大峰a的强度A，并测定以下峰强中的至少一个：衍射角为27.5±0.3度且比峰a衍射角小的角度范围内的最大峰强B、衍射角为26.5±0.5度范围内的最大峰强C、衍射角为24.2±0.5度范围内的最大峰强D，由测定的峰强求出B/A、C/A、D/A中的至少一个值，将该值与研磨特性已确定的研磨材料经X射线衍射测定求出的值相比较，进行品质检验。
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