[发明专利]位置测量装置有效
| 申请号： | 01815669.X | 申请日： | 2001-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1459019A | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | W·霍尔扎普菲尔;A·施雷贝尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G01D5/347;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强,章社杲 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供测量一个扫描单元和一个为此可在至少一个测量方向上移动的刻度尺的相对位置的位置测量装置。扫描单元包含至少一个扫描光栅、至少一个偏转件及多个光电探测件。在扫描单元中，作为偏转件地设置至少一个五面棱镜，其棱边与测量方向平行并且所述五面棱镜这样的方向上起到后向反射镜的作用，即该在刻度尺平面上垂直于测量方向。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.测量一个扫描单元和一个为此可在至少一个测量方向上移动的刻度尺的相对位置的位置测量装置，其中该扫描单元包括至少一个扫描光栅、至少一个偏转件以及多个光电探测件，其特征在于，至少一个五面棱镜(50，50’；500，500’)作为偏转件地设置在扫描单元(A，A’)内，它的棱边(51，51’)的取向平行于测量方向(x)并且所述五面棱镜在一个方向(y)上起到后向反射镜的作用，该方向(y)在刻度尺(90，900)平面内垂直于测量方向(x)。
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