[发明专利]用于平版印刷工艺中的高分辨率重叠对齐方法和系统有效
| 申请号： | 01815505.7 | 申请日： | 2001-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1476551A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | B·J·周;M·科尔博恩;S·V·斯瑞尼瓦萨恩;T·百利 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种在平版印刷过程中确定和校正对齐的方法。在平版印刷过程中通过使用位于模板和基片两者上的对齐标记可使模板与基片对齐。该对齐可以在加工层之前确定和校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平版印刷 工艺 中的 高分辨率 重叠 对齐 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种使用对固化光基本上透明的有图案的模板在基片上形成图案的方法，其特征在于，包括：将光可固化液体应用到基片上，其中光可固化液体在固化光存在的情况下可固化；定位有图案的模板和基片，使得有图案的模板接触至少置于基片上的液体部分，其中有图案的模板包括模板对齐标记，基片包括基片对齐标记；相对于基片对齐标记确定模板对齐标记的对齐；相对于基片调整有图案的模板的重叠位置，使得模板对齐标记和基片对齐标记充分地对齐；调整有图案的模板和基片之间的空间，使得应用的液体充分地填满有图案的模板和基片之间的间隙，并且其中的间隙基本上均匀；应用固化光通过模板到达液体，其中固化光的应用充分地固化该液体，并且其中有图案的模板的图案在液体的固化中形成；和从固化液体上分离有图案的模板。
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