[发明专利]集成光学器件无效
申请号: | 01815432.8 | 申请日: | 2001-08-13 |
公开(公告)号: | CN1486439A | 公开(公告)日: | 2004-03-31 |
发明(设计)人: | 拉塞尔·奇尔德;马克·瓦兰掂;乔纳森·博斯;丹尼尔·奥特加·冈萨雷斯;格莱姆·乔丹;安托尼·普乔尔 | 申请(专利权)人: | 阿尔卡塔尔光电子英国有限公司 |
主分类号: | G02B6/132 | 分类号: | G02B6/132;G02B6/136;G02B6/126;G02B6/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 英国利*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 本发明涉及一种集成光学器件,所述集成光学器件含有,基片,至少基片的一面提供第一包层,所述第一包层包括台结构;波导核,形成在第一包层上使得波导核实质上覆盖台结构;和第二包层,形成在波导层和第一包层上。 | ||
搜索关键词: | 集成 光学 器件 | ||
【主权项】:
1.在基片上,至少是在设有第一包层的基片的一个面上,制造集成光学器件的方法,所述的方法含有步骤:(i)在第一包层上形成核材料;(ii)在形成所需波导核的补充物的区域内蚀刻部件,蚀刻步骤包括从核材料层上去除材料并且至少从第一包层上去掉材料,从而第一包层形成实质上由波导核覆盖的台结构。(iii)在第一包层和波导核上形成第二包层。
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