[发明专利]一氧化硅蒸镀材料及其制造方法、制造原料和制造装置无效
| 申请号： | 01815020.9 | 申请日： | 2001-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1451057A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 有本伸弘;西冈和雄;木崎信吾;小笠原忠司;藤田诚 | 申请（专利权）人： | 住友钛株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉,丁业平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及以下高纯度一氧化硅蒸镀材料、其制造方法、以及制造原料等。(1)高纯度一氧化硅蒸镀材料，在形成蒸镀膜时可以抑制飞溅现象，且平均体积密度为2.0g/cm3、维氏硬度为500以上。(2)高纯度一氧化硅蒸镀材料的制造方法，在原料室中比一氧化硅升华温度低的温度下进行脱气处理之后，实施升温而使一氧化硅升华，蒸镀到沉积室的沉积衬底上形成高纯度一氧化硅蒸镀材料，其金属不纯物的总量为50ppm以下。(3)所述的一氧化硅蒸镀材料的制造原料，其中金属硅粉与二氧化硅粉的平均粒度同时为1～40μm和/或摩尔混合比SiO/Si为0.90～0.99。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 硅蒸镀 材料 及其 制造 方法 原料 装置 | ||
【主权项】：
1.一种一氧化硅蒸镀材料，其平均体积密度为2.0g/cm3，且维氏硬度为500以上。
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