[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 01814833.6 | 申请日： | 2001-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1449319A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 黑澤滿樹 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/42 | 分类号： | B23K26/42;H01S3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的激光加工装置具有将利用偏转镜偏转的激光聚焦到被加工件上用的扫描透镜，通过用所述偏转镜和所述扫描透镜，对偏转区内的多个部位照射激光以进行加工。由于具有测量照射于所述偏转区内多个不同位置的激光能量的能量测量手段，能测量偏转区内的多个不同位置上照射的激光能量，可以了解扫描透镜污染所造成的激光照射位置上部分能量下降的情况，根据该信息进行适当维修保养，从而可进行长期稳定地进行加工而不发生加工不良的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，具有把利用偏转镜偏转的激光聚集到被加工件上的扫描透镜，利用所述偏转镜和所述扫描透镜在偏转区内的多个位置上照射激光以进行加工，其特征在于，具有测量照射于所述偏转区内多个不同测量位置的激光的能量的能量测量手段。
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