[发明专利]具有分开的反向反射器的共焦成像系统有效
| 申请号： | 01812688.X | 申请日： | 2001-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN1441894A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | A·施克;G·德门斯 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,张志醒 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种共焦成像系统，用于通过用高频振动的后向反射器测取距离值提高数据率。此公开提出具有很小的质量的镜系统，所述的镜系统在极小的质量下由静电测量可以达到快速的焦点运动及高度测量。所述镜系统由相互成布置90度的并且相互同步地沿共焦成像系统的光轴振动的微机械制造的微型镜装置组成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分开 反向 反射 成像 系统 | ||
【主权项】：
1.用于测取距离值的共焦成像系统，该系统包括：-共焦成像光学元件组，用于在物(7)上形成焦点，-照明单元，用于经过共焦成像光学元件组照明物(7)，-光接收器(6)，用于检测从物散射回的光并且对之进行光电转换，-处在光程中并且沿光轴的方向振动的后向反射器(3)，用于使焦点沿光轴方向运动，其特征在于，所述的后向反射器(3)包括有至少两个相互成90度布置的并且相互同步地振动的微型镜(1、11)的微型镜装置。
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