[发明专利]高效小型电容耦合等离子反应器/生成器及方法无效
| 申请号： | 01811073.8 | 申请日： | 2001-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1436359A | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | K－C·R·赵 | 申请（专利权）人： | 电气化学科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 小型 电容 耦合 等离子 反应器 生成器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于气体等离子体反应器的电极装置，其包括：一个阳极和一个阴极，该阳极和该阴极各包括一个对面，它们互相分离，为气体限定了一个流动路径；多个分别与前述阳极和前述阴极相连的导电翼片组件，其伸展到前述阳极和前述阴极之间，将前述流动路径分为多个小室。
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