[发明专利]用于工艺模件的即插即用传感器组合有效
| 申请号： | 01810569.6 | 申请日： | 2001-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1432146A | 公开（公告）日： | 2003-07-23 |
| 发明（设计）人： | C－H·王;D·J·赫姆克尔;A·刘 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,王勇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种采用计算机系统的工艺室，计算机系统对工艺室进行控制，而工艺室则与一个或多个传感器相连，传感器用于监测工艺室中的工艺。传感器按客户机/服务器关系与计算机系统相连，这在某种程序上使传感器为可带电拆换的即插即用传感器。计算机系统与传感器交换各种消息，与传感器同步工作，并对传感器发送的数据进行综合和利用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 模件 即插即用 传感器 组合 | ||
【主权项】：
1.在工艺模件的计算系统与第一传感器之间进行通信的计算机实现的方法，其中，工艺模件具有工艺室，该方法包括以下步骤：使工艺模件的计算系统初始化；使能测量工艺室中第一参数的第一传感器初始化；将连接消息从第一传感器发送至工艺模件的计算系统；将获取可通报的技术规范命令从工艺模件的计算系统发送至第一传感器；以及将可通报的技术规范消息从第一传感器发送至工艺模件计算系统。
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