[发明专利]平板显示器的制造方法无效
| 申请号： | 01809414.7 | 申请日： | 2001-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1429382A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 野口隆;碓井節夫;中嵨英晴 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G09F9/30;G02F1/136;H01L29/78;H01L21/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及平板显示器的制造方法，能以高可靠性制造像素区的TFT和扫描区的TFT，它包括以下步骤：在包含有像素区和驱动区的基片上形成非晶硅薄膜，通过激光束的照射从形成在驱动区的非晶硅薄膜中脱氢，而不照射形成在像素区的非晶硅薄膜，并且激光束的进一步照射，晶化形成在驱动区的非晶硅薄膜，从而将非晶硅薄膜变成多晶硅薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 显示器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示器的制造方法，包括下列步骤：在包含有像素区和驱动区的基片上形成非晶硅薄膜；通过激光束的照射从形成在驱动区的非晶硅薄膜中脱氢，而不照射形成在像素区的非晶硅薄膜；通过激光束的进一步照射，晶化形成在驱动区的非晶硅薄膜，从而将非晶硅薄膜变成多晶硅薄膜。
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