[发明专利]探针卡装置及其所用的探针无效
| 申请号： | 01808137.1 | 申请日： | 2001-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN1423750A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吉田稔;大桥诚一 | 申请（专利权）人： | 伊诺太科株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在探针(1A)与片状电极(5)接触的尖端部形成针尖部(2)。该针尖部(2)具有接触片状电极(5)时,位于与片状电极(5)上滑动方向大致平行的一个面内的针尖刃口(2a)。而且,该针尖刃口(2a)在对接触电级(5)滑动的前进方向前端形成从前进方向的前方向后方更接近片状电极(5)的形状。这样,针尖刃口(2a)切入片状电极(5)的表面上形成的绝缘薄膜(7),得到能够实现探针(1A)与片状电极(5)良好电气接通的探针卡装置。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 及其 所用 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡装置，具有与待测定物的电极部(5)接触、以对待测定物进行电气试验用的多只探针(1A～1D)，其特征是，所述多只探针(1A～1D)在分别与所述电极部(5)接触的尖端部具备针尖部(2)，所述针尖部(2)具有针尖刃口(2a)，该针尖刃口(2a)位于与接触所述电极部(5)时在所述电极部(5)上相对滑动的方向大致平行的一个面内，所述针尖刃口(2a)在相对所述电极部(5)滑动的前进方向前端形成从前进方向的前方向后方更接近所述电极部(5)的形状。
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