[发明专利]集成在微电子电路内的线圈和线圈系统及微电子电路有效
| 申请号: | 01806407.8 | 申请日: | 2001-01-19 |
| 公开(公告)号: | CN1416579A | 公开(公告)日: | 2003-05-07 |
| 发明(设计)人: | J·伯索德;D·瑟瓦尔德;M·蒂布特 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01F27/36;H01L23/64 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王岳,张志醒 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及集成在微电子电路(10)内的线圈(20)和线圈系统,以及相应的微电子电路(10)。本发明的线圈(20)布置在芯片(11)的氧化物层(13)内,从而氧化物层(13)布置在基片(12)的基片表面(14)上。线圈(20)包括一个或多个匝(21),匝(21)由至少两个导体轨迹(22,23)的段和链接这些轨迹(22)和/或轨迹段(23)的通路连接(40)构成,这些段分别在空间上不相连的金属化平面(24,25)上提供。为了制造高质量线圈(20),尽量使线圈(20)的横截面(27)大,从而,标准的金属化,特别是使用铜的金属化可以用来制造线圈(20)。为达此目的,通路触点(40)由相互叠加的两个或多个通路元件(42)的叠层(41)形成。金属化平面的组成部分(43)可以位于通路元件(42)之间。 | ||
| 搜索关键词: | 集成 微电子 电路 线圈 系统 | ||
【主权项】:
1.一种集成在微电子电路(10)内的线圈,具有有一匝或多匝(21),线圈匝(21)由在彼此分离的金属化平面(24,25)内形成的至少两个互连(22,23)的段和连接所述互连(22)和/或互连段(23)的通路触点(40)构成,其中,每个通路触点(40)则是由两个或多个通路元件(42)上下叠置形成的叠层(41)所构成。
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