[发明专利]具有金属－绝缘体－金属电容器的集成元件有效
| 申请号： | 01805980.5 | 申请日： | 2001-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1408126A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | M·施伦克;M·施韦德 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造具有集成金属－绝缘体－金属电容器(7)的集成元件的方法。首先，将层间电介层(11)和上部电极(12)沉积在由铜制成的下部电极(6)的整个表面上。然后，金属－绝缘体－金属电容器(7)图案形成，并且蚀刻过程中止于层间电介层(11)。这样可以避免上部电极(12)和下部电极(6)之间发生短路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属 绝缘体 电容器 集成 元件 | ||
【主权项】：
1.具有含铜合金的内连导线(3，8，14)和一个金属-绝缘体-金属电容器(7)的集成元件，其特征在于，该电容器(7)由一在一用于内连导线的金属平面(5)的第一电极(6)、一首先用作蚀刻中止层的层间电介层(11)和一金属化层(12)构成。
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